مطالعه اثرات ساختار لایه های متخلخل حاصل از آندیزاسیون الکتروشیمیایی به منظور افزایش حساسیت حسگر سیلیکان متخلخل
پایان نامه
- دانشگاه تربیت معلم - تهران - دانشکده علوم
- نویسنده سمیه صدر
- استاد راهنما محمداسماعیل عظیم عراقی
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1389
چکیده
نانو و میکروساختارهای سیلیکان متخلخل شامل منافذ ماکرو، بر روی سیلیکان نوع p به روش آندیزاسیون الکتروشیمایی در الکتروشیمایی درالکترولیت شامل dmf و اسید hfایجاد گرید تاثیر پارامترهایی همچون زمان آندیزاسیون چگالی جریان و غلظت الکترولیت هم بر ساختار تخلخل و هم بررسانایی سیلیکان متخلخل در حضور گاز و در هوای محیط بررسی شده است. همچنین در انی کار ما بر مطالعه ی نانو ساختارهای سیلیکان متخلخل دارای حفره ایی از نوع مزو برای کاربردهای حسگرهای گازی تمرکز می کنیم این نانو ساختارهای سیلیکان متخلخل به وسیله ی آندی کردن سیلیکان تک بلوری در محلول اسیدهیدروفلوریک و اتانول به دست می آید. مشخصه های جریان –ولتاژ ساختارau/ps در شرایط معمولی اتاق (دمای 300k) ویژگی یکسو کنندگی دارد. مکانیزم حس کردن گاز اکسیژن و دی اکسید کربن در حسگرها بر پایه ی سیلیکان متخلخل مربوط به تغییر در تراکم حامل های در لایه ی متخلخل به علت مولکول های جذب شده به عنوان نتیجه ای از چگالش گاز در داخل منافذ می باشد. چندین عملیات برای پایداری و اصلاح سطح سیلیکان متخلخل معرفی شده است. یکی از شیوه های پایداری گزارش شده برای کاربردهای حسگر گازی، فرآیند گرمایی است. اتصال ها در ساختار حسگر، شامل یک لایه طلا بر روی سطح سیلیکان متخلخل و اتصال اهمیت آلومینیوم بر پشت ویفرسیلیکان می باشد. که به روش تبخیر در خلا ایجاد شده اند ما در این کار نتایج آزمایش حسگر گازی سیلیکان متخلخل که در آن اتصال طلا د دو دمای متفاوتc 300 و c 500 پخت شده است و تاثیر این فرآیند گرمایی را بر ویژگی های حسگری سیلیکان متخلخل گزارش می کنیم. رسانایی زمان پاسخ و برگشت ماکرو و مزوسیلیکان متخلخل به وسیله ی مشخصه ی جریان زمان برای فشار ثابتی از گاز اکسیژن و دی اکسید کربن بررسی شده است. هم چنین بیشینه پاسخ را به وسیله ی نمودار پاسخ ولتاژ در دمای اتاق در حضور گاز تعیین می کنیم.
منابع مشابه
بررسی خواص پراکندگی سیلیکان متخلخل
Porous silicon (PS) layers come into existance as a result of electrochemical anodization on silicon. Although a great deal of research has been done on the formation and optical properties of this material, the exact mechanism involved is not well-understood yet. In this article, first, the optical properties of silicon and porous silicon are described. Then, previous research and the prop...
متن کاملبررسی خواص پراکندگی سیلیکان متخلخل
سیلیکان متخلخل (ps) بر اثر آندیزاسیون الکتروشیمیایی روی ویفر سیلیکان به وجود می آید. تاکنون تحقیقات فراوانی درباره چگونگی تشکیل این ماده و خواص نوری آن به ویژه فوتولومینسانس (pl) انجام شده, اما هنوز سازوکار دقیق آنها شناخته نشده است. در این مقاله ابتدا نظریه پراکندگی نور از سطوح ناهموار تصادفی و سپس انعکاس و پراکندگی, جذب و عبور نور از ps بررسی می شود و سرانجام کارهای عملی انجام شده بر روی نمون...
متن کاملاندازهگیری هیدروژن در عمق نمونۀ سیلیکان متخلخل به روش آشکارسازی ذرات پسزده از برخورد کشسان
Porous silicon (PS) samples are obtained by electrochemical anodization of Si wafers in HF+DMF solution. The hydrogen complex components are formed on the inner surface walls of porous silicon. In this work the depth profile of porous silicon is estimated by measurement of hydrogen content in the depth of the sample. Since the well-known ion beam analysis simulation programs are inappropriate f...
متن کاملبررسی وابستگی میکروساختارهای سطحی سیلیکان متخلخل و خواص اپتیکی آن
We have studied the effect of increasing porosity and its microstructure surface variation on the optical and dielectric properties of porous silicon. It seems that porosity, as the surface roughness within the range of a few microns, shows quantum effect in the absorption and reflection process of porous silicon. Optical constants of porous silicon at normal incidence of light with wavelengt...
متن کاملاستخراج پارامترهای تشخیص از پاسخ گذرای حسگر گاز الکتروسرامیکی متخلخل
روش جدیدی را برای تشخیص جنس یک گاز هدف خالص در هوا بر اساس تحلیل ریاضی پاسخ گذرای حسگر گاز نیمه هادی پیشنهاد میکنیم. حسگر گاز مورد نظر از نوع مقاومتی و دارای بدنه حساس متخلخل است. معادله نفوذ – واکنش در خصوص بدنه متخلخل الکتروسرامیکی و شرایط حدی حاکم بر ساختمان افزار مورد نظر حل گردید. اهم پارامترهای وابسته به نوع گاز (پارامترهای تشخیص) مشخص و آثار ناشی از آنها در پاسخ گذرای حسگر به روشهای رقو...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
دانشگاه تربیت معلم - تهران - دانشکده علوم
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023